真空石墨煅烧炉-洛阳八佳电气科技股份有限公司

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石墨煅烧炉

石墨煅烧炉

该设备主要用于多晶硅前处理工序，在高温真空环境下，对石墨电极、石墨基座、石墨卡瓣等进行煅烧，使石墨部件经酸洗、高温烘干后仍残余的水气和氯化盐

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